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杂质对硅微粉的影响

发布时间:2022-05-25 15:07:03人气:

因为治金硅微粉材料的杂质较多,杂质成分较复杂,其中不少杂质会与氧发各种各样的复合作用,因而可能会影响硅微粉材料的寿命。而用治金法的硅材料拉单晶的时候,因为硅棒的边缘比中间先结晶(在切割硅片的平面上,由于分凝效应,杂质向中部富集,导致每个硅片中都的杂质偏高。因此,硅片中的少子寿命较短,边缘的少子寿命较长。引起这种现象的杂质,应该主要是金属杂质,尤其是铁、铝、钙,以及碳。对于化学法的多晶硅微粉材料來说,因为杂质较少,因此这个现象不明显,所以没有这个现象。但是这个现象是治金法多晶硅微粉不可避免的现象,则有失准确。实际上,有学者研究过,在后续的硅料中,经过拉品切片后,就已经不存在此现象。可见,物理法多晶硅微粉也是可以避免这个现象的,关键还是在杂质是否能够充分去。

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