除了金属杂质外，还有非金属杂质。通常，硅微粉中剩余比较多的是氧、碳、氮。这些杂质在硅微粉材料中的存在，对硅材料的性质都有深刻的影响。先说氧，除了金属硅中所带来的以外，石英坩埚也会对硅中的氧也有很大的贡献。石英中的二氧化硅会与液态硅发生反应，在产生一氧化硅的同时，也导致氧不断进入到硅液中。在凝固后，由于长品、退火和冷却的时间较长，氮可以与空位结合，形成微缺陷，也可以团聚形成氧团簇，还可以形成氧沉淀，引入诱生缺陷，这些都会对太阳能电池的性能产生影响。多晶硅的坩埚由于通常有氮化硅涂层，在铸锭时也没有坩埚的旋转造成机械对流，所以氧的含最通第要比单品硅少很多，因此，在多品硅中，氧对材料的影响不如单品硅、尤其是高纯单晶硅的影响大但是，氧沉淀的时候，由于可以吸除一些金属杂质，又可以减少单晶硅的杂质与缺陷，因此，氧在一定的浓度下，又可以说是一种有益的杂质。
