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超纯硅微粉里的硼和磷

发布时间:2022-05-23 14:51:30人气:

磷和硼在硅微粉里是比较突出的杂质组成部分,比例恰当可以充分发挥最大导电性,同时杂质配比过多则会导致转型现象,导致电阻率下降。将纯硅微粉里掺硼的P型料,和纯硅摻杂球的N型科共同放在一个坩埚里进行熔化拉单晶,假设P型科中的硼与N型料中的磷的原子密度相近,由于硼的分凝系数为0.8,接近于1,因而硼的分布在单晶棒的头部和尾部会比较均匀,而磷的分凝系致为0.36,所以,在单晶棒的头部会较少,而尾部浓度较大,因此,就整个单晶棒来说,头部由于硼多于磷,将呈P型,尾都由于磷多于硼,呈N型:而电阻率从头部开始,会表现出由小到大,到很大,再逐步减小的“人”字形分布。假如用PN型号测试仪测试,会发现电阳率最大的地方,就是发生从P型到N型的“转型”的地方。

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